Μη Γραμμική Λιθογραφία

Σταθμοί εργασίας Δύο σταθμοί μη-γραμμικής λιθογραφίας Σταθμός I: με γαλβανομετρικούς σαρωτές για υψηλής ταχύτητας (μέχρι 5mm/s) τρισδιάστατη εκτύπωση Σταθμός II: με πιεζοηλεκτρικούς σαρωτές, για μέγιστη ακρίβεια και ανάλυση (<100nm) Επιπρόσθετα στους χρήστες παρέχεται η δυνατότητα διάθεσης resist κατασκευασμένων κατά παραγγελία με πολυφωτονική λιθογραφία